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13819825337
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詳細介紹
| plasma清洗機 | ||
| 設(she)備尺寸 | L1100×W940×H1755mm | |
| 重量 | 600Kg | |
| 需求電(dian)源 ; | AC380V，50/60Hz，5線，25A（總空開選型為(wei)C型以上(shang)） | |
| 等離子發生器規格 | ||
| 電源功(gong)率 | 射頻 | 中頻 ; |
| 0~1000W | 0-2000W | |
| 電源頻率(lv) | 13.56MHz | 40 KHz |
| 真空系統(tong) | ||
| 真空泵 | 飛躍(yue)單極(ji)泵VSV65+鮑斯(si)羅(luo)茨泵BSJ70 | |
| 真空管路(lu) | 全不銹鋼(gang)管路，以及高強度真空波紋管 | |
| 材質 | 鋁合金 | |
| 厚度 | 25mm | |
| 密(mi)封性 | 軍工級焊接密封 | |
| 腔體內(nei)部尺寸 | 500×500×600mm（寬(kuan)×高×深(shen)） ; | |
| 電(dian)極板有效尺寸 | 372（W） X 451(D)mm | |
| 可用空間間距 ; | 24mm | |
| 電極板布置(zhi)方式 | 水(shui)平電極板 | |
| 工作托(tuo)盤(pan) | 標配一(yi)套，材質可選配(鋁材、鋼絲網） | |
| 工作空間 | 8層(ceng) | |
| 工藝(yi)氣體 | ||
| 流量范圍 | 0~300SCCM | |
| 工藝氣體氣路 | 標配兩路(lu)，可定制。工藝氣體管路(lu)為鐵(tie)氟龍材質 | |
| 控(kong)制系統 | ||
| 系統(tong)控(kong)制 | PC控制(zhi) ; | |
| 交互方式 | Windows界面(mian) 5、設備(bei)尺寸圖紙 1、主機尺(chi)寸(cun)圖紙 | |
二、plasma清洗機的產品介紹
1、產品概述
SPV-150真空等(deng)(deng)離(li)子(zi)清洗機(Plasma cleaner)，氣體通過激勵電源離(li)化成等(deng)(deng)離(li)子(zi)態，等(deng)(deng)離(li)子(zi)體作用于(yu)產品(pin)表(biao)面，清洗產品(pin)表(biao)面污(wu)染物，提(ti)高(gao)表(biao)面活(huo)性，增強附著性能。等(deng)(deng)離(li)子(zi)清洗是一(yi)種新型的、環保、高(gao)效、穩定的表(biao)面處理方式。
2、產(chan)品(pin)結構真空(kong)等離子體表面(mian)處理系統(tong)(tong)主要包(bao)括三個部分：真空(kong)腔及真空(kong)系統(tong)(tong)，等離子體發生器，控制系統(tong)(tong)。
（A）真(zhen)空(kong)腔(qiang)及真(zhen)空(kong)發生系統(tong)(tong)真(zhen)空(kong)腔(qiang)固定(ding)于機柜(ju)框架內，左右(you)兩側為可拆門，因此內部的真(zhen)空(kong)腔(qiang)及真(zhen)空(kong)系統(tong)(tong)的維(wei)修是極方便的。真(zhen)空(kong)發生系統(tong)(tong)由波紋管、KF接頭、真(zhen)空(kong)泵以(yi)及油霧過(guo)濾器組成，核心部件真(zhen)空(kong)泵（真(zhen)空(kong)泵組）
（B）等離(li)子(zi)體(ti)發(fa)生器(qi)等離(li)子(zi)體(ti)發(fa)生器(qi)在20Pa-100Pa間給電(dian)(dian)極板(ban)施加電(dian)(dian)壓(ya)，產生低溫等離(li)子(zi)體(ti)。利(li)用高頻轉換技術(shu)形成高頻電(dian)(dian)壓(ya)加到電(dian)(dian)極板(ban)上，當真(zhen)空腔內達到一定真(zhen)空度時，產生等離(li)子(zi)體(ti)放電(dian)(dian)現象(xiang)，放電(dian)(dian)后(hou)電(dian)(dian)路會自動調節電(dian)(dian)壓(ya)到適(shi)當值，保證(zheng)電(dian)(dian)路正常穩定放電(dian)(dian)。
（C）控制系統(tong)本(ben)系統(tong)使(shi)用MCGS觸摸(mo)屏、西門子(zi)PLC、中文(wen)界(jie)面。設(she)備的工(gong)藝流程(cheng)控制：真(zhen)空(kong)泵啟(qi)動(dong)->擋板閥開啟(qi)->達到設(she)定的真(zhen)空(kong)度->通入工(gong)藝氣體(ti)->;RF放電->工(gong)作時間(jian)到破真(zhen)空(kong)->工(gong)作完成。設(she)備分自動(dong)和手動(dong)兩種(zhong)方式。
3、產品優勢
1、等離(li)子清(qing)(qing)洗(xi)使得用戶可以遠離(li)有(you)害溶(rong)劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清(qing)(qing)洗(xi)中容易洗(xi)壞清(qing)(qing)洗(xi)對象的問題；
2、清(qing)洗對象經等(deng)離子清(qing)洗之(zhi)后是干燥(zao)的，不需要再經干燥(zao)處(chu)理(li)即(ji)可送(song)往下一道工(gong)序。可以提高整個工(gong)藝流水線的處(chu)理(li)效率；
3、避免使用三氯乙烷等ODS有(you)害溶劑，這樣清(qing)洗后不會產生(sheng)有(you)害污(wu)染(ran)物，因此這種清(qing)洗方(fang)法屬于環保(bao)的綠色(se)清(qing)洗方(fang)法。這在(zai)全(quan)球高(gao)度關(guan)注環保(bao)的情況下越發顯出它的重要(yao)性(xing)；
4、使用等離(li)子清(qing)洗(xi)，避(bi)免了對清(qing)洗(xi)液的運(yun)輸、存儲、排(pai)放等處理措施，所以生產場地很容易保持清(qing)潔衛生；
5、使用等離子(zi)清(qing)洗，可(ke)以使得清(qing)洗效率(lv)獲得極大的(de)提(ti)高。整個清(qing)洗工藝流(liu)程幾(ji)分鐘內即可(ke)完成，因此具有產率(lv)高的(de)特(te)點；
6、等離子(zi)清(qing)洗(xi)(xi)需(xu)要(yao)(yao)控制(zhi)的真空度(du)約為100Pa，這種清(qing)洗(xi)(xi)條件很(hen)容易達到。因(yin)此這種裝置的設備成(cheng)本不(bu)高，加上清(qing)洗(xi)(xi)過程不(bu)需(xu)要(yao)(yao)使用價格較(jiao)為昂貴的有機(ji)溶劑，這使得整(zheng)體成(cheng)本要(yao)(yao)低于傳統的濕(shi)法清(qing)洗(xi)(xi)工藝；
7、采用無線電波范圍的(de)(de)高頻產生的(de)(de)等(deng)離子(zi)體(ti)與激光等(deng)直(zhi)射(she)光線不(bu)同(tong)。等(deng)離子(zi)體(ti)的(de)(de)方向性(xing)不(bu)強(qiang)，這使(shi)得它可以(yi)深入到物體(ti)的(de)(de)微細孔眼(yan)和凹陷的(de)(de)內(nei)部(bu)完(wan)成(cheng)清(qing)洗(xi)任務，因此不(bu)需要過(guo)多考(kao)慮被(bei)清(qing)洗(xi)物體(ti)的(de)(de)形狀。而且對(dui)這些難(nan)清(qing)洗(xi)部(bu)位的(de)(de)清(qing)洗(xi)效果與氟利昂清(qing)洗(xi)的(de)(de)效果相(xiang)似甚至更好(hao)；
8、在完成清(qing)洗去污(wu)的同時，還可(ke)以改善(shan)材料本身(shen)的表(biao)面性(xing)能。如提高表(biao)面的潤濕性(xing)能、改善(shan)膜的黏著力等，這在許(xu)多應用中都是非常重要(yao)的；
9、等離子體清洗可(ke)(ke)以(yi)不(bu)分(fen)(fen)處理對(dui)象，它可(ke)(ke)以(yi)處理各種各樣的(de)(de)材質，無(wu)論是金屬(shu)、半導體、氧化物，還是高(gao)分(fen)(fen)子材料（如聚(ju)丙烯、聚(ju)氯(lv)乙(yi)烯、聚(ju)四氟乙(yi)烯、聚(ju)酰亞胺、聚(ju)酯、環(huan)氧樹脂等高(gao)聚(ju)物）都可(ke)(ke)以(yi)使用等離子體來(lai)處理。因此特別適合于不(bu)耐熱以(yi)及(ji)不(bu)耐溶劑的(de)(de)材質。而且(qie)還可(ke)(ke)以(yi)有選擇地(di)對(dui)材料的(de)(de)整(zheng)體、局部(bu)或復(fu)雜結構(gou)進行(xing)部(bu)分(fen)(fen)清洗。
（1）等離子腔體圖紙
4、產品規格(ge)
| 配置清單 | |||||
| 序號 ; | 名稱 | 型(xing)號和規(gui)格 | 數量 | 備注 | |
| 1 | 主機 | SPV-150 | 1 | 臺(tai) | |
| 2 | 真空(kong)腔體(ti) | 鋁合金真(zhen)空腔體L600×W500×H500mm ; | 1 | PCS ; | |
| 3 | 激勵電源 | 射頻電源 | 中頻電源 ; | 1 | 套 |
| 頻(pin)率：13.56MHz； ; 功率：0~1000W 全自動真空電容匹配(pei)器 | 頻(pin)率：40KHz； 功率(lv)：0~2000W | ||||
| 4 | PLC | 德國(guo)西門(men)子，S7-200 | 1 | PCS | |
| 5 | 觸摸屏 | 昆侖通態，七寸屏幕，TPC7072GI | 1 | PCS | |
| 6 | 流量計 | 英國warwick品牌 | 2 | PCS | |
| 7 | 真空泵組 | 飛躍單極(ji)泵VSV65+鮑斯(si)羅茨泵BSJ70 ; ; | 1 | 臺 ; | |
| 8 | 真空計 | 英福(fu)康 | 1 ; | PCS ; | |
| 9 ; | 說明(ming)書(shu) | 真空等(deng)離子清洗機SPV-150操(cao)作說明書 | 1 | 份(fen) | |
| 驗收標準 | ||
| 項目 | NO. | 內容 |
| 硬件驗收 | 1 | 設(she)備清單驗收(shou) |
| 2 | 出廠報告 | |
| 3 ; | 說(shuo)明書 | |
| 性能(neng)驗收 | 1 | 試用樣(yang)品(pin)進行處(chu)理(li)，處(chu)理(li)效果和均勻(yun)性滿足客戶驗收標(biao)準或者(zhe)合同協議要求。 |
| 穩定性(xing)測試 | 1 ; | 連續10分鐘(zhong)等離子清洗(xi)測試(shi) |
| 2 | 試片水滴角測試 | |
| 驗收(shou)日期 | 1 | 設(she)備(bei)交付后(hou) 2 個月(yue)內必須完成驗(yan)收 |
| 損耗(hao)清單 | ||||
| 序(xu)號 ; | 名(ming)稱 ; | 型號和規格(ge) | 數量 | 壽(shou)命時間(jian) ; ; |
| 1 | 真空(kong)泵過濾芯 | AF60 | 1PCS | 6個月 ; |
| 2 | 真空泵油 | A200 | 5L | 3個(ge)月 |
| 3 | 腔門密封圈 | Φ10 | 1PCS | 1年 |
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