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SPV-100晶圓(yuan)等離子(zi)(zi)(zi)清洗機通(tong)過(guo)對工藝氣體(ti)(ti)施加電場(chang)使電離化為等離子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)。等離子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)的(de)“活性”組(zu)分(fen)包括(kuo)：離子(zi)(zi)(zi)、電子(zi)(zi)(zi)、原子(zi)(zi)(zi)、自由活性基團(tuan)、激發態的(de)核素（亞穩態）、光子(zi)(zi)(zi)等。等離子(zi)(zi)(zi)處理就(jiu)是(shi)通(tong)過(guo)利用(yong)這些活性組(zu)分(fen)的(de)性質(zhi)來氧化、還原、裂解、交(jiao)聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質(zhi)，從而優化材料表面性能(neng)，實(shi)現(xian)清潔、改性、刻蝕等目的(de)。