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在線等(deng)(deng)離子清(qing)洗機通過對工藝氣(qi)體(ti)施加(jia)電場使電離化為等(deng)(deng)離子體(ti)。等(deng)(deng)離子體(ti)的“活(huo)性”組(zu)(zu)分包括：離子、電子、原(yuan)子、自由活(huo)性基(ji)團(tuan)、激(ji)發態(tai)(tai)的核素(su)（亞穩態(tai)(tai)）、光子等(deng)(deng)。等(deng)(deng)離子處理(li)就是通過利用這些活(huo)性組(zu)(zu)分的性質進行氧化、還原(yuan)、裂解、交聯和(he)聚合等(deng)(deng)物理(li)和(he)化學反應改(gai)(gai)變樣品表(biao)面性質，從而優化材(cai)料表(biao)面性能，實現清(qing)潔、改(gai)(gai)性、刻蝕等(deng)(deng)目(mu)的。

大氣(qi)等(deng)(deng)離子(zi)清(qing)洗機通過對工藝氣(qi)體(ti)施加電場使電離化(hua)為等(deng)(deng)離子(zi)體(ti)。等(deng)(deng)離子(zi)體(ti)的“活(huo)性(xing)”組分包括：離子(zi)、電子(zi)、原子(zi)、自(zi)由(you)活(huo)性(xing)基(ji)團、激發態的核素（亞(ya)穩態）、光子(zi)等(deng)(deng)。等(deng)(deng)離子(zi)處理(li)就是通過利用(yong)這些活(huo)性(xing)組分的性(xing)質進行氧化(hua)、還原、裂(lie)解、交聯和聚合等(deng)(deng)物理(li)和化(hua)學反應改變樣品表面(mian)性(xing)質，從而優化(hua)材料表面(mian)性(xing)能，實現清(qing)潔、改性(xing)、刻蝕等(deng)(deng)目(mu)的。