咨詢(xun)熱線
13819825337
13819825337
簡要描述：半導體(ti)(ti)等(deng)(deng)離(li)子(zi)清(qing)洗機通過對工藝氣(qi)體(ti)(ti)施加電場使電離(li)化為等(deng)(deng)離(li)子(zi)體(ti)(ti)。等(deng)(deng)離(li)子(zi)體(ti)(ti)的(de)“活性"組分(fen)包(bao)括：離(li)子(zi)、電子(zi)、原子(zi)、自由(you)活性基團、激(ji)發態(tai)的(de)核(he)素（亞穩態(tai)）、光子(zi)等(deng)(deng)。
產品型號：SPA-5800廠商性(xing)質：生產廠家更新(xin)時間：2023-04-28訪 問 量：1599詳細介紹
一、等離子體介紹
1、產品原理
通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質進行氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質，從而優化材料表面性能，實現清潔、改性、刻蝕等目的。
2、行業應用
二、產品介紹
1、產品概述
半導體等離(li)子清(qing)(qing)洗機(Plasma cleaner)是國內(nei)的(de)(de)“數(shu)字化大(da)氣(qi)等離(li)子清(qing)(qing)洗機”，一款擁有強(qiang)大(da)的(de)(de)“CPU”的(de)(de)大(da)等離(li)子清(qing)(qing)洗機。采用穩定性高的(de)(de)移相(xiang)全(quan)橋軟開關電路，擁有數(shu)字通(tong)信及模擬(ni)通(tong)信兩種數(shu)據(ju)傳輸方式，通(tong)過ARM芯片強(qiang)大(da)的(de)(de)數(shu)據(ju)處理功(gong)能(neng)，實現(xian)設備數(shu)字化控制(zhi)，客戶產(chan)線，可達到(dao)中央控制(zhi)系統(tong)統(tong)一監控，使清(qing)(qing)洗效果更(geng)穩定、更(geng)持久(jiu)，抗干(gan)擾性能(neng)增強(qiang)，減(jian)低故障率(lv)，控制(zhi)維護(hu)成本(ben)，提高產(chan)能(neng)，有效減(jian)低生產(chan)成本(ben)。
2、產品優勢
（1）數字化控制，顯示屏顯示，實時監控，抗干擾強；
（2）具有十余種故障報警功能，故障排查定位時間縮短80%以上；
（3）支持RS-485/232數字通信接口和模擬通信接口，強大的遠程通信功能；
（4）采用TI品牌的移相全橋軟開關電路和PFC功率因素校正，相對模擬硬開關電路效率可提高10%以上，響應時間小于0.1s，抗干擾性強；
（5）軍工級硬件設計，使用環境溫度范圍可達到-25℃-50℃，適應不同的嚴苛場景，MTBF時間可達到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃)；
（6）搭載ST品牌的ARM芯片，人機交互簡單明了，強大的遠程調試通訊功能，無縫對接任意的應用場景，自主研發的軟件對實時采集的數據進行智能判斷并協調工作，可實現功率自匹配，穩定無變化；
（7）具有6種檢測功能：氣壓檢測、主板溫度檢測、變壓器弧壓檢測、變壓器初級峰值電流檢測，電網電流檢測，噴槍轉速檢測；
（8）等離子發生器同時支持射流噴槍、旋轉噴槍及線性寬幅，一鍵設置，隨時變換；
（9）具有過溫(wen)防護(hu)(hu)(hu)、過載防護(hu)(hu)(hu)、短路(lu)、斷(duan)路(lu)、漏(lou)電(dian)防護(hu)(hu)(hu)、各種誤操作保護(hu)(hu)(hu)等防護(hu)(hu)(hu)功(gong)能(neng)。
3、產品結構
結構：高壓數字電源發生器、等離子發生裝置噴槍與控制系統組成。
（1）高壓數字電源發生器：
等離子體的產生需要高壓激勵，本產品采用中頻電源進行激勵，數字化控制方式，可實現功率自匹配，保證功率的穩定輸出，且輸出精度高，輸出功率不受氣壓波動，市網電壓波動，噴槍電極老化等影響。參數需根據樣品實際情況進行調節，以便達到處理效果。
（2）等離子發生裝置噴槍：
半導體等離子清洗機搭配高速旋轉噴槍：主要處理大面積、形狀較復雜的材料，處理面積范圍20-80mm，可與原有的生產流水線搭配，實現全自動在線生產，節約人力成本。
（3）控制系統：
控(kong)制系統(tong)作用(yong)在于控(kong)制SPA-5800大氣等離子清(qing)洗(xi)機(ji)的運行，以及整體系統(tong)的保護。
4、產品規格
| 大氣(qi)等(deng)離子主(zhu)機 | |
| 設備(bei)尺寸 | L580*W480*H149mm |
| 重量 | 10KG |
| 需求電源 | 電源：單相(xiang)AC220V，50/60Hz， 10A，接地電阻小于(yu)4Ω |
| 等離子發生(sheng)器(qi)規格 | |
| 電(dian)源(yuan)功率 | 600-1000W可調(依據負載情況(kuang)設定范圍) |
| 電源頻率 | 50/60Hz |
| 遠程通信方式(shi) | 支持485接(jie)口，232接(jie)口，并有(you)模擬通信接(jie)口 |
| 控制方式 | 數字控制(zhi)，可選本地控制(zhi)與遠(yuan)程控制(zhi) |
| 等離子槍頭規格 | |
| 處理寬度(du) | 20-90mm |
| 槍頭(tou)尺寸 | L308*W76*H149mm |
| 重(zhong)量 | 6.5KG |
| 槍(qiang)頭可(ke)調節高度 | 5-15mm |
| 氣壓范(fan)圍 | 標準0.2MPA，0.08~0.25MPA可(ke)調 |
| 工藝(yi)氣體 | |
| 使用氣體 | CDA或(huo)者N2 |
| 檢測與(yu)報警 | |
| 檢(jian)測 | 氣(qi)壓檢(jian)測(ce)(ce)、主(zhu)板溫度檢(jian)測(ce)(ce)、變壓器弧(hu)壓檢(jian)測(ce)(ce)、變壓器初(chu)級峰值電流檢(jian)測(ce)(ce)，電網電流檢(jian)測(ce)(ce)，噴槍轉速檢(jian)測(ce)(ce) |
| 報警(jing) | 具備轉速、溫度、電(dian)(dian)壓、氣壓、過(guo)載、漏電(dian)(dian)、功(gong)率不(bu)匹配、短路(lu)、開路(lu)、過(guo)流等(deng)保護(hu)功(gong)能 |
設備尺寸圖紙
2.5.1槍頭尺寸圖(tu)
2.5.2電源尺寸圖(tu)
三、規格要求(qiu)
3.1 廠務規格要求
| 廠務規格要求 | |
| 需(xu)求電源(yuan) | 電源：單相(xiang)AC220V，50/60Hz， 10A，接地(di)電阻小于4Ω |
| 廠務排氣(qi) | 流 量 ：5m³/min 材(cai)質(zhi)：耐腐蝕材(cai)質(zhi) |
| 廠(chang)務壓縮空氣要求 | 管徑：8mm 材(cai)質(zhi)：PU 管 壓(ya)力：0.4-0.6MPa 氣源質量(liang)應(ying)該滿足：固體(ti)顆(ke)粒粒徑<=0.1um,含油量(liang)<=0.01mg/m³，壓力(li)露(lu)點-40°C以下(xia) |
3.2 配置清單
| 配置清單 | ||||
| 序號 | 名稱 | 型號(hao)和規格 | 數量 | 備(bei)注 |
| 1 | 主機(ji)發生(sheng)器 | SPA-5800 | 1 | 臺 |
| 2 | 常(chang)規(gui)槍頭 | 按客戶(hu)要求配備 | 1 | 臺 |
| 3 | 普通噴嘴(zui) | 按(an)客戶要(yao)求配備 | 1 | PCS |
| 4 | 金屬波紋(wen)管長(chang) | 線長3.5M | 1 | 條 |
| 5 | 送(song)貨單 | 紙質文檔 | 1 | 份 |
| 6 | DB15接頭 | 線長20cm | 1 | 條 |
| 7 | 產品(pin)說明(ming)書 | 紙(zhi)質文檔 | 1 | 份 |
| 8 | 產品(pin)合格證 | 紙質(zhi)文(wen)檔 | 1 | 份(fen) |
| 9 | 產品保修卡 | 紙質文檔 | 1 | 份 |
| 10 | 產品質檢(jian)報告(gao) | 紙質(zhi)文(wen)檔 | 1 | 份 |
| 損耗清(qing)單 | ||||
| 序號 | 名稱 | 型號和規(gui)格 | 數量 | 壽命時間 |
| 1 | 噴(pen)嘴(zui) | / | 1 | 2300H |
| 2 | 電極 | / | 1 | 1800H |
| 3 | 皮帶(dai) | / | 1 | 4800H |
| 4 | 碳刷 | / | 1 | 6000H |
注：耗材的(de)使(shi)用壽命(ming)時間(jian)與現場(chang)的(de)使(shi)用條(tiao)件有關系，以下壽命(ming)時間(jian)僅供參(can)考(kao)。
產品咨詢
公司地址：浙江省寧波市海曙區氣象路827號
公司郵箱：215398148@qq.com
公司傳真：0574-28820083
在線咨詢