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SPV-100晶圓等(deng)(deng)離子(zi)(zi)清洗機通過對工(gong)藝氣(qi)體施加電場使電離化(hua)(hua)為(wei)等(deng)(deng)離子(zi)(zi)體。等(deng)(deng)離子(zi)(zi)體的“活性(xing)(xing)(xing)”組分包括：離子(zi)(zi)、電子(zi)(zi)、原(yuan)(yuan)子(zi)(zi)、自由活性(xing)(xing)(xing)基(ji)團、激發態的核(he)素（亞穩態）、光子(zi)(zi)等(deng)(deng)。等(deng)(deng)離子(zi)(zi)處(chu)理(li)就是通過利(li)用這些活性(xing)(xing)(xing)組分的性(xing)(xing)(xing)質(zhi)來氧化(hua)(hua)、還(huan)原(yuan)(yuan)、裂解(jie)、交聯(lian)和(he)聚合等(deng)(deng)物理(li)和(he)化(hua)(hua)學反(fan)應(ying)改(gai)變樣(yang)品表(biao)面性(xing)(xing)(xing)質(zhi)，從而優化(hua)(hua)材料表(biao)面性(xing)(xing)(xing)能(neng)，實(shi)現(xian)清潔、改(gai)性(xing)(xing)(xing)、刻蝕等(deng)(deng)目(mu)的。

SPV-100真空(kong)等(deng)離子(zi)清(qing)洗機通過對工藝氣體(ti)施加電(dian)場(chang)使電(dian)離化(hua)(hua)為等(deng)離子(zi)體(ti)。等(deng)離子(zi)體(ti)的“活(huo)(huo)性(xing)”組分包括：離子(zi)、電(dian)子(zi)、原子(zi)、自由活(huo)(huo)性(xing)基(ji)團、激發(fa)態的核素（亞穩態）、光子(zi)等(deng)。等(deng)離子(zi)處理就是通過利用這些活(huo)(huo)性(xing)組分的性(xing)質來氧化(hua)(hua)、還原、裂(lie)解、交聯和(he)聚(ju)合(he)等(deng)物理和(he)化(hua)(hua)學(xue)反應改變樣品表面(mian)(mian)性(xing)質，從而(er)優(you)化(hua)(hua)材料(liao)表面(mian)(mian)性(xing)能，實現清(qing)潔、改性(xing)、刻(ke)蝕等(deng)目的。

SPV-200真空等(deng)離(li)子清(qing)洗機通過對工藝氣體施(shi)加電(dian)場使電(dian)離(li)化為等(deng)離(li)子體。等(deng)離(li)子體的(de)“活(huo)性”組分(fen)包括：離(li)子、電(dian)子、原(yuan)(yuan)子、自由活(huo)性基團、激發態的(de)核素（亞穩態）、光子等(deng)。等(deng)離(li)子處理(li)就(jiu)是通過利(li)用這些活(huo)性組分(fen)的(de)性質來氧化、還原(yuan)(yuan)、裂解、交聯和聚合等(deng)物理(li)和化學反應改變樣品(pin)表面性質，從而優化材料(liao)表面性能，實現(xian)清(qing)潔(jie)、改性、刻蝕等(deng)目的(de)。